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크린룸은 실내에서 발생한 먼지를 여과된 청정공기로 치환시켜 어떻게 해서든 빠른 시간내에 제거할 수 있도록 기류에 중점을 둔 공주방식입니다. 기류의 흐름방식은 활유식과 층류식 (수평, 수직)으로 구분되며 다음과 같이 그 개념을 구분하여 설계합니다.
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누설방지 대책
크린룸 시공에 있어서 유의해야 할 점은 누설의 발생입니다. 일반공조계의 닥트에서는 보통 10&이항의 누설(에너지 측면에서는 5%이하를 권장)까지는 인정하고 있으나 크린룸에서는 더욱 엄밀한 시일(seal)을 요구합니다. 특히 특수한 조건(유독가스, RI, 오염기체, 전염성 세균등을 포함한 기체등)에서는 누설제로의 시공이 요구되며 때로는 전용접닥트의 필요성도 따르게 됩니다. |
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실압, 변동, 감시 및 대책
크린룸 내의 실압은 다음과 같은 여러 요인에 의하여 변동되므로 이에 대한 감시방법과 대책에 대하여 고려하여야 합니다. |
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