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| 크린룸의 규격은 세계의 모든 나라가 미국연방규격 209b를 준용하고 있으며 그외의 참고규격으로서 NASA규격, 미국공군 규격이 있습니다. 이들 규격중 NASA규격은 BCR에 관한 규격이고 그외의 것은 ICR의 규격으로 적용됩니다. |
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| Class표시 |
Class 상한치 |
| 0.1㎛ |
0.2㎛ |
0.3㎛ |
0.5㎛ |
5㎛ |
| 단위체적 |
단위체적 |
단위체적 |
단위체적 |
단위체적 |
| Meter법 |
영국단위 |
(㎥) |
(ft³) |
(㎥) |
(ft³) |
(㎥) |
(ft³) |
(㎥) |
(ft³) |
(㎥) |
(ft³) |
| M1 |
- |
350 |
9.91 |
75.7 |
2.14 |
30.9 |
0.875 |
10.0 |
0.283 |
- |
- |
| M1.5 |
1 |
1,240 |
35.0 |
265 |
7.50 |
106 |
3.00 |
35.3 |
1.00 |
- |
- |
| M2 |
- |
3,500 |
99.1 |
757 |
21.4 |
309 |
8.75 |
100 |
2.83 |
- |
- |
| M2.5 |
10 |
12,400 |
350 |
2,650 |
75.0 |
1,060 |
30.0 |
353 |
10.0 |
- |
- |
| M3 |
- |
35,000 |
991 |
7,570 |
214 |
3,090 |
87.5 |
1,000 |
28.3 |
- |
- |
| M3.5 |
100 |
- |
- |
26,500 |
750 |
10,600 |
300 |
3,530 |
100 |
- |
- |
| M4 |
- |
- |
- |
75,700 |
2.140 |
30,900 |
875 |
10,000 |
283 |
- |
- |
| M4.5 |
1,000 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
35,300 |
1,000 |
247 |
7.00 |
| M5 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
100,000 |
2,830 |
618 |
17.5 |
| M5.5 |
10,000 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
353,000 |
10,000 |
2,470 |
70.0 |
| M6 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
1,000,000 |
28,300 |
6,180 |
175 |
| M6.5 |
100,000 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
3,530,000 |
100,000 |
24,700 |
700 |
| M7 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
10,000,000 |
283,000 |
61,800 |
1,750 |
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| Class |
기류형태 |
평균기류속도 |
시간당환기² |
M7&M6.5(Class 100,000) |
NM |
.005-.041m/sec(1-8ft/min) |
5-48 |
| M6&M5.5(Class 10,000) |
NM |
.051-.076m/sec(10-15ft/min) |
60-90 |
| M5&M4.5(Class 1,000) |
NM |
.127-.203m/sec(20-40ft/min) |
150-240 |
| M4&M3.5(Class 100) |
UNM |
.203-.406m/sec(40-80ft/min) |
240-480 |
| M3&M2.5(Class 10) |
U |
.254-.457m/sec(50-90ft/min) |
300-540 |
| M2&M1.5(Class 1) |
U |
.305-.457m/sec(60-90ft/min) |
360-540 |
| M1 Cleaner |
U |
.305-.508m/sec(60-100ft/min) |
360-600 |
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