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| 오스틴(Plilip, R Austin)의 정의에 따르면 '크린룸이란 공기에 의해서 운반된 입자상의 물질을 제한하고 조절하기 위하여 만들어진 구역'을 말합니다. 좀 더 구체적으로 표현하면 크린룸은 청정공기를 다량으로 흐르게 하여 실내에서 발생한 먼지를 신속히 실외로 빨아 내보내도록 한구역(Area)을 말합니다. |
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| 따라서 크린룸은 다음의 다섯가지 기본개념을 고려함으로써 가능하게 합니다. |
1) 입자상 물질의 침입을 막는다.(Preventing)
2) 입자상 물질을 제거한다.(Purging)
3) 입자상 물질의 발생을 금한다.(Prohibiting)
4) 입자상 물질의 충돌 및 정체로부터 보호한다. (Protecting)
5) 출입하는 물건과 사람을 크리닝하기 위한 장소를 둔다(Providing) |
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| 이상 다섯가지를 만족시키기 위하여 실제적으로 |
1) 무균 또는 무진공기를 보낼 것
2) 공기의 흐름이 층류일 것
3) 공기의 속도는 일정할 것
4) 실내를 양압으로 유지할 것
5) 송풍경로 및 실내에서 먼저 발생이 없을 것
6) 발생된 먼지가 빨리 배출될 것등이 요구된다. |
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ㆍ미립자의 침입방지(Preventing)
작업자와 생산품의 동선을 구분하여 청정구역과 비 청정구역의 구분을 통한 미립자가 클린룸 내부로 칩입되는 것을 방지한다.
ㆍ발생된 미립자 제거(Purging)
신선한 공기 인입과 오염된 공기를 취출하여 지속적으로 이루어져 미립자가 실내에 체류하지 못하도록 환기한다.
ㆍ미립자의 발생 방지(Prohibiting)
클린룸 내부에 필요인원 출입 및 작업동선의 최소화, 무균 복장을 착용한다.
ㆍ미립자의 누적방지(Protecting)
무정전 내장재를 사용하여 지속적인 청소를 통해 미립자를 방지한다.
ㆍ온도, 습도, 압력유지(Providing)
필요한 온도, 습도 및 실내압력을 유지 시켜준다. |
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